3M氟化液HFE-7100,FC-40,FC-3283,FC-770,PF-5060,HFE-7200,EGC-1700,FC-77,HFE-71IPA,HFE-72DE等產品具有良好的化學惰性,電氣絕緣性能,熱傳導性和獨特的低表面張力,廣泛用于清洗、熱傳導、制造、測試方面的多樣化要求,可以滿足半導體及電子行業極端需求!今天是:
3M氟化液HFE-7100,FC-40,FC-3283,FC-770,PF-5060,HFE-7200,EGC-1700,FC-77,HFE-71IPA,HFE-72DA可以滿足半導體及電子行業極端需求!
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3M氟化液HFE-7100,FC-40,FC-3283,FC-770,PF-5060,HFE-7200,EGC-1700,FC-77,HFE-71IPA,HFE-72DE等產品具有良好的化學惰性,電氣絕緣性能,熱傳導性和獨特的低表面張力,廣泛用于清洗、熱傳導、制造、測試方面的多樣化要求,可以滿足半導體及電子行業極端需求!
HFE-7100
HFE-71IPA
HFE-71DE
HFE-72DA
HFE-7500
 
 

 
3M半導體冷卻導熱液(FC-40,FC-3283,FC-43,HFE-7100,HFE-7200,HFE-7300,HFE-7600)
3M? Novec? 高機能性液體、フロリナート? フッ素系不活性液體半導體製造裝置の溫度制御(熱媒體?ブライン)用途
電気特性に優れ、メンテナンス性を向上します。超低溫から高溫まで、幅広い溫度に対応します。
3M半導體冷卻導熱液(FC-40,FC-3283,FC-43,HFE-7100,HFE-7200,HFE-7300,HFE-7600)
特長
  • 優れた電気特性(電気特性?體積抵抗値)
  • 超低溫から高溫まで幅広い溫度範囲に適用可能
  • 各種部材との適合性が良い
  • 引火點が無い
  • 実用上無毒
  • オゾン破壊係數ゼロ
  • 低地球溫暖化係數(3M? Novec? 高機能性液體)
ドライエッチング裝置電極部
溫度コントロール用途3M半導體冷卻導熱液(FC-40,FC-3283,FC-43,HFE-7100,HFE-7200,HFE-7300,HFE-7600)
用途例
各種半導體製造裝置の溫度制御露光裝置、ドライエッチング裝置、スパッタリング裝置、CVD裝置、イオン注入裝置
ICテスター、プローバー、ハンドラー、バーンイン裝置 他
技術情報
使用推奨溫度域3M半導體冷卻導熱液(FC-40,FC-3283,FC-43,HFE-7100,HFE-7200,HFE-7300,HFE-7600) 動粘度3M半導體冷卻導熱液(FC-40,FC-3283,FC-43,HFE-7100,HFE-7200,HFE-7300,HFE-7600) 適合性の良い材料(例)
Novec? 高機能性液體
  • プラスチックポリプロピレン?ポリカーボネート?ポリエステル?エポキシ?PET?ABS?PTFE?アクリル(7100、7200のみ)
  • 金屬アルミニウム?銅?炭素鋼?ステンレス?真鍮?モリブデン?タンタル?タングステン
  • ゴムブチルゴム?ニトリルゴム?EPDM
  • ※PTFEでは若干の體積膨張を起こします。
  • ※念のため事前に適合性をご確認ください。
  • ※可塑剤の入っていない材料を推奨します。
フロリナート? フッ素系不活性液體
  • プラスチックアクリル?ポリプロピレン?ポリカーボネート?ポリエステル?エポキシ?PET?ABS?PTFE
  • 金屬アルミニウム?銅?炭素鋼?ステンレス?真鍮?モリブデン?タンタル?タングステン
  • ゴムブチルゴム?ニトリルゴム?EPDM?フッ素ゴム
  • ※念のため事前に適合性をご確認ください。

 

 

HFE-7100,HFE-7200,FC-40,FC-3283,FC-770,FC-77,PF-5060,PF-5070,EGC-1700,EGC-1720,HFE-71IPA,HFE-71DA,HFE-71DE,HFE-72DA,HFE-72DE,HFE-7500,3M Novec Contact Cleaner,3M Novec Electronic Degreaser,3M Novec Flux Remover


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